低温固化正性PBOPBO-H8303i-line光刻胶

MINSEOAPBO-H8300S系列产品是正型i-line光刻胶，可以用作应力缓冲层或钝化层。该薄膜与多种基板具有良好的粘附性，具有优异的电绝缘和介电性能、高Tg和优良的机械性能，能够经受应用后处理的热和化学暴露，且具有优异的伸长率，防止开裂。 
1)水性溶剂显影，膜厚范围: 1.5-15μm; 
2)储存时间长，稳定性高; 
3)良好的分辨率，可应用于3μm@3μm及15μm@15μm场景；
4)固化膜力学性能优异，断裂伸长率＞55%;
5)良好的热稳定性，Td5%＞440℃;
6)与各种界面相容性好，与Si, Au, Ti, SiO2, Si3N4, Cu, Al等界面粘结力高;
7)抗化学侵蚀性良好，可承受大多数有机溶剂、无机酸、碱溶液的腐蚀，适用于BUMP 和WLP；抗老化性能优异，可通过可靠性验证;
8)高纯度，低金属离子含量，Na+< 0.1 ppm， K+<0.1 ppm ...